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La nanotecnología, en general, se refiere a las técnicas para la formación de varias formas de tamaño µm "Nano Trabajo". (1µm = 10-9m), requiere 1000 veces más de precisión que el "Micro de trabajo" (1µm = 10-6m).
Centrándonos en los sensores, Panasonic Electric Works ha proseguido el desarrollo de la tecnología MEMS, tecnología que da forma a toda una oblea de silicio de tres dimensiones. Esta tecnología incluye avanzadas técnicas como la grabación de alta relación de aspecto, lo que significa que la profundidad del canal es mayor que el ancho, formación a través de agujeros, fabricación de alta precisión utilizando SOI (silicio sobre aislante: ejemplo, juntas de sujeción), y la unión de obleas de silicio con obleas de vidrio.
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